佳能推出 FPD 曝光设备 MPAsp | {$randkws}热点解读 且一次揭露幅度拓展约 1.2 倍
来源：害群之马网 | 栏目：综合 | 2026-06-19 12:31:29
5 月 28 日讯息，佳能中国权威亮相，将在 2024 年 6 月上旬发售扶持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 揭露设备新品 MPAsp-E1003H。
▲ MPAsp-E1003H
FPD 即平板电脑显示器（Flat panel display），大家普遍的商品普通可分为 LCD、OLED、大模型专题LED、PDP、ELD、FED、投影显示等各异类型。
▲ 车载大型特别显示器（示意图）
佳能强调，这款商品使用了投影光学操控系统，回顾红毯造型汇总可做到 1.5μm（L／S）的高分辨率，且一次揭露幅度拓展约 1.2 倍，使生产能力将进一步提升。
据说明，该投影光学操控系统曾用于“MPAsp-H1003H”，可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性揭露、快报速递用于大型电视等的 65 英寸面板。
在一块玻璃基板上，假如生产智能移动电话面板等商品，此前需要 6shot 揭露，而新商品仅需 4shot 揭露，生产表现大幅提升。上海奥斯卡建议收藏备用另外，在生产车载横向大型特别显示器时，也可以做到无接缝 2shot 揭露。且，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，tact time 提升约 14%，有效提升了量产效率。
佳能强调，新商品除了使用和扶持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点另外测量的对位方式（既保证了生产效率也做到了高精度揭露），还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，从而使其即使揭露幅度拓展也能做到 ±0.30μm 高套刻精度。
另外，新商品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上做到了超分辨率技术的照明模式切换机构，可依据需要揭露图案的种类开展照明模式切换，从而适配各类制造工序的揭露。
这款新商品在形成圆弧光的机构中，配备揭露狭缝自动改动机构（SIC：Slit Illuminance Control）。经由自动控制光线经由的狭缝宽度，可以改变揭露光线的强度分布，从而做到稳定的揭露线宽。
另外，新商品还使用了可合作揭露布局自由挑选玻璃基板纵横方向的 universe chuck，首次做到可应对车载显示器多样化布局需求。佳能强调，MPAsp-E1003H 经由强化上述制造工序的工艺应对能力，制造品质更为稳定。
▲ MPAsp-E1003H
FPD 即平板电脑显示器（Flat panel display），大家普遍的商品普通可分为 LCD、OLED、大模型专题LED、PDP、ELD、FED、投影显示等各异类型。
▲ 车载大型特别显示器（示意图）
佳能强调，这款商品使用了投影光学操控系统，回顾红毯造型汇总可做到 1.5μm（L／S）的高分辨率，且一次揭露幅度拓展约 1.2 倍，使生产能力将进一步提升。
据说明，该投影光学操控系统曾用于“MPAsp-H1003H”，可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性揭露、快报速递用于大型电视等的 65 英寸面板。
在一块玻璃基板上，假如生产智能移动电话面板等商品，此前需要 6shot 揭露，而新商品仅需 4shot 揭露，生产表现大幅提升。上海奥斯卡建议收藏备用另外，在生产车载横向大型特别显示器时，也可以做到无接缝 2shot 揭露。且，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，tact time 提升约 14%，有效提升了量产效率。
佳能强调，新商品除了使用和扶持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点另外测量的对位方式（既保证了生产效率也做到了高精度揭露），还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，从而使其即使揭露幅度拓展也能做到 ±0.30μm 高套刻精度。
另外，新商品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上做到了超分辨率技术的照明模式切换机构，可依据需要揭露图案的种类开展照明模式切换，从而适配各类制造工序的揭露。
这款新商品在形成圆弧光的机构中，配备揭露狭缝自动改动机构（SIC：Slit Illuminance Control）。经由自动控制光线经由的狭缝宽度，可以改变揭露光线的强度分布，从而做到稳定的揭露线宽。
另外，新商品还使用了可合作揭露布局自由挑选玻璃基板纵横方向的 universe chuck，首次做到可应对车载显示器多样化布局需求。佳能强调，MPAsp-E1003H 经由强化上述制造工序的工艺应对能力，制造品质更为稳定。